반도체 제조공정 품질 향상을 위한 그래프 신경망 기반 이상탐지 및 근본 원인 시각화 사례 연구
A Case Study of Graph Neural Network-Based Anomaly Detection and Root Cause Visualization for Quality Improvement in Semiconductor Manufacturing
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하주은(숭실대학교),
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이승준(숭실대학교),
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김두리(숭실대학교),
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최정일(숭실대학교)
이력 정보
| 2025.06.23 |
DOI 등록 |
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| 2025.06.30 |
발행 |
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