군집분석 및 반응표면분석법을 활용한 반도체 공정 수율향상에 관한 연구
Improving the Yield of Semiconductor Manufacturing Processes using Clustering Analysis and Response Surface Method
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Koh,Kwan Ju(경기대학교 일반대학원 산업경영공학과),
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Kim,Na Yeon(경기대학교 일반대학원 산업경영공학과),
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Kim,Yong Soo(경기대학교 산업경영공학과)
이력 정보
| 2019.06.04 |
투고 |
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| 2019.06.09 |
수정 |
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| 2019.06.10 |
승인 |
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| 2019.06.30 |
발행 |
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