다구찌 기법을 활용한 반도체 연마 공정의 최적 설계수준 결정
Determination of Optimal Design Level for the Semiconductor Polishing Process by Taguchi Method
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심현수(경기대학교 일반대학원 산업경영공학과),
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김용수(경기대학교 산업경영공학과)
이력 정보
| 2017.03.21 |
투고 |
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| 2017.04.09 |
수정 |
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| 2017.04.10 |
승인 |
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| 2017.06.30 |
발행 |
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| 2017.08.16 |
DOI 등록 |
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