doi: 10.21218/CPR.2024.12.2.031

고품질 polysilicon/tunneling oxide 기반의 에미터 형성 공정에서의 Auger 재결합 조절 연구

Study on Auger Recombination Control using Barrier SiO₂ in High-Quality Polysilicon/Tunneling oxide based Emitter Formation

• Lee,Huiyeon,
• Hong,SuBeom,
• Kim,Donghwan