doi: 10.7469/JKSQM.2019.47.4.725

전력반도체의 수율향상을 위한 최적 공정조건 결정에 관한 연구

Process Conditions Optimizing the Yield of Power Semiconductors

• 고관주(경기대학교),
• 김나연(경기대학교),
• 김용수(경기대학교)