doi: 10.7469/JKSQM.2019.47.2.381


군집분석 및 반응표면분석법을 활용한 반도체 공정 수율향상에 관한 연구

Improving the Yield of Semiconductor Manufacturing Processes using Clustering Analysis and Response Surface Method

  • 고관주(경기대학교),
  • 김나연(경기대학교),
  • 김용수(경기대학교)

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