doi: 10.7469/JKSQM.2017.45.2.293

다구찌 기법을 활용한 반도체 연마 공정의 최적 설계수준 결정

Determination of Optimal Design Level for the Semiconductor Polishing Process by Taguchi Method

• 심현수(경기대학교 일반대학원 산업경영공학과),
• 김용수(경기대학교 산업경영공학과)